mikro elektro-mekanik sistemler ne demek?

Mikro Elektro-Mekanik Sistemler (MEMS)

Mikro Elektro-Mekanik Sistemler (MEMS), genellikle 1 ila 100 mikrometre boyut aralığında olan minyatürleştirilmiş mekanik ve elektromekanik cihazları ifade eder. Bu sistemler, mikroelektronik (çoğunlukla silikon) ve mikromakine teknikleri kullanılarak üretilir.

Temel Özellikleri:

• Boyut: Çok küçük boyutları sayesinde, geleneksel sistemlere kıyasla daha az yer kaplarlar ve daha hafiftirler.
• Entegrasyon: Mikroelektronik devrelerle entegre edilebilirler, bu da akıllı sensörler ve aktüatörler oluşturulmasını sağlar.
• Çeşitlilik: Çok çeşitli uygulamalarda kullanılabilirler (aşağıya bakınız).
• Maliyet: Seri üretimde, üretim maliyetleri düşüktür.

Uygulama Alanları:

• Otomotiv: Hava yastığı sensörleri (ivmeölçer), basınç sensörleri, jiroskoplar.
• Tıp: Kan basıncı sensörleri, ilaç dağıtım sistemleri, mikro akışkan cihazlar.
• Tüketici Elektroniği: Akıllı telefonlar (ivmeölçerler, jiroskoplar), oyun konsolları, projektörler (DLP çipler).
• Endüstriyel: Basınç sensörleri, akış sensörleri, titreşim sensörleri.
• Savunma: Atalet Ölçüm Birimleri (IMU) , kimyasal sensörler.

Üretim Teknikleri:

• Yüzey Mikromakine: İnce film katmanlarının ardışık olarak biriktirilmesi ve aşındırılmasıyla yapılar oluşturulur.
• Kütle Mikromakine: Silikon alt tabakadan malzeme çıkarılarak yapılar oluşturulur (örneğin, ıslak aşındırma ve kuru aşındırma).
• LIGA (Litografi, Galvanik Kalıplama ve Abformung): X-ışını litografisi kullanılarak yüksek hassasiyetli yapılar oluşturulur.

Avantajları:

• Küçük Boyut ve Ağırlık: Özellikle taşınabilir uygulamalar için önemlidir.
• Yüksek Hassasiyet: Küçük değişiklikleri algılama yeteneği.
• Düşük Güç Tüketimi: Pil ömrünü uzatır.
• Toplu Üretim Uygunluğu: Düşük maliyetli üretim.

Dezavantajları:

• Karmaşık Tasarım ve Üretim: Uzmanlık gerektirir.
• Sınırlı Güç ve Hareket Aralığı: Özellikle aktüatör uygulamalarında bir sınırlama olabilir.
• Çevresel Etkilere Duyarlılık: Sıcaklık, nem gibi faktörlerden etkilenebilirler.

MEMS teknolojisi, sürekli olarak gelişmekte olup, gelecekte daha da yaygınlaşması beklenmektedir. Özellikle, Nesnelerin İnterneti (IoT) ve giilebilir teknoloji gibi alanlarda önemli bir rol oynamaktadır.